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진동없이 정확한 움직임 달성 - 반도체 웨이퍼 운송 로봇

전통적인 웨이퍼 운송 로봇에는 기어를 사용하는 구조가 있으며 운송 중 기어에서 발생하는 진동으로 인해 웨이퍼 진동을 잡는 손. 진동으로 인해 웨이퍼가 수송 중에 미끄러지므로 기계적으로 유지해야하므로 웨이퍼와 입자 생성에 손상이 발생했습니다. 또한 기어로 인한 백래시 및 히스테리시스는 또한 전송 정확도가 악화되었습니다.

이 상황에서, 우리는 반도체 웨이퍼를 운반하기 위해 깨끗한 로봇을 사용하고 있습니다Semistar-Gekko MD124D(아래MD124D)가 상용화되었습니다. 진동이 낮은 정밀 운반에 대한 수요로 인해 우리는 모터의 특징을 최대한 활용했으며 부드럽고 정확한 운송을 제공 할 수있는 웨이퍼 컨베이어 로봇이되었습니다.

엔드 이펙터를 고속으로 원하는 위치로 가져 오면 웨이퍼가 미끄러 지거나 떨어질 수 있습니다. 이를 방지하기 위해, 우리는 웨이퍼에 가속도/감속을 일정하게 적용하기위한 제어를 포함시켰다. 무기 위치에서 웨이퍼에 적용되는 가속 및 감속0.5G(1G = 9.8m/s²) 아래로 유지하기 위해 달성되었습니다. 효율적으로 제어함으로써 장치 처리량이 최대화되었습니다.
또한DD모터를 구동함으로써, 반복 위치 정확도는 두 배 이상 높고 절대 포지셔닝 정확도는 기존 모델보다 두 배 높으며 수직 진동 및 진폭이 달성됩니다.1/2<=, 전송 정확도40μm가 달성되었습니다.

로봇 바카라 하는 법 및 제어 바카라 하는 법을 결합하여 운송 로봇이 낮은 진동과 높은 정확도가 생성되었습니다.

모터의 위치 정보를 보유하는 배터리 교체는 로봇을 유지 관리 할 때 어려운 일입니다. 반도체 제조 라인에 넣은 웨이퍼 운송 로봇은 거의 항상24Time365매일 작동 중이며 배터리 교체를 위해서만 생산을 중지 할 수 없습니다. MD124D는 배터리가 없으므로 교체의 번거 로움과 예비 부품 비용이 줄어 듭니다.

MD124D는 기어리스를 통해 낮은 진동과 높은 정확도를 결합하여 반도체 제조 공정에 기여할 수있는 낮은 손상 전송을 달성합니다. 또한 배터리가없는 시스템은 유지 보수가 향상되었습니다. 이들은 평가되었고 "No. 1"63Ten New Product Awards^*(이 상) "원.

*10 개의 New Product Awards는 무엇입니까?
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