Yaskawa Electric Co., Ltd. (본사 : Fukuoka Prefecture, Kitakyushu City; CEO : Ogasawara Hiroshi)는 반도체 웨이퍼 운송을위한 깨끗한 바카라의 새로운 라인업을 제공 할 것이라고 발표했습니다.AC서보 모터 "σ-7시리즈 "Clean Robot"Semistar-Gekko MD124D" 현재 판매 중입니다.

이를 통해 이전 모델보다 정확도가 높아집니다 (이전 모델에 비해 위치 정확도2Double) ・ 진동이 낮습니다 (이전 모델과 비교1/6) 반도체 웨이퍼 운송이 실현됩니다. 또한 깨끗한 바카라의 표준 컨트롤러는 작고 가벼워서 구동 용량 및 확장 성을 향상시킵니다.SR200또한 개발되었습니다.SR200일반적으로 깨끗한 바카라에 적용되며 깨끗한 바카라의 성능을 극대화합니다.

최근 스마트 폰 제품 사양의 진화,iot데이터 센터 및 통신 사양의 발전 결과 5g기술은 변형과 같은 현저하고 반도체는 이러한 기술을 지원하는 주요 요인입니다. 반도체 혁신은 제조 공정입니다nm(나노 미터) 레벨 소형화 및 다층 기술에 구축되었으며,이 진화에 기여할 웨이퍼 운송을위한 깨끗한 바카라이 필요합니다.

예를 들어, 웨이퍼를 높은 정확도로 지정된 위치로 전송하는 것과 같은 요청이 있으며, 웨이퍼에 응력을 넣지 않고 이전과 동일한 수의 시트를 안전하게 운반하고 웨이퍼를 좁은 피치로 전송하여 많은 웨이퍼를 저장하려는 것과 같은 요청이 있습니다. 고객의 이러한 요청을 충족시키기 위해 더 높은 정확도와 낮은 진동으로 깨끗한 바카라을 개발했습니다.

이전 모델 (Semistar-MR124), 완전히 호환 가능한 바카라 설치 및 전송 장치 레이아웃 (바카라 자체의 모양 유지) 및 절대 위치 정확도 (0.05mm^*1) 및 반복 포지셔닝 정확도 (±0.025mm^*1) is2이중 개선, 운송 중 손 진동 (0.25G^*1,1g = 9.8m/s²)도 크게 감소되었습니다. 우리 회사는이 성능을 달성하기 위해 바카라의 암에 속도 감소기가 필요하지 않습니다.AC서보 모터 "σ-7시리즈 "Direct Drive (DD) 드라이브 시스템에는 모터가 장착되어 있습니다.

클린 바카라을 동시에 판매 할 수있는 표준 컨트롤러SR200"는 기계 컨트롤러입니다 (MP) 사용되었고 이전 모델 별 볼륨42%, MASS35%감소Semi이 컨트롤러는 표준과 같은 주요 표준을 충족 할 수있는 확장 성이 있습니다.

이러한 제품 설계를 개선하는 것 외에도 애프터 판매 서비스에 대한 품질 향상을 구현합니다. 예를 들어 바카라에서 배터리를 제거하고 배터리 교체를 제거했습니다. 또한 고객이 필요한 정보를보다 쉽게 ​​얻을 수있어 프로세스 분석 및 생산성 개선으로 이어질 수 있습니다. 이 제품은 지속 가능한 부품을 재 설계하기 위해 바카라과 컨트롤러의 지속적인 생산을 통해 지속 가능하도록 설계되었습니다.

*1 : 측정 조건에 따른 결과의 예

반도체 제조 장비에서 바카라 등을 운반

(1) 판매 가능 :2020Year5Month

(2) 판매 가격 : 오픈 가격

[contact]

바카라 Electric Co., Ltd.

Robot Business Division Clean Robot Technology Department

Komiyaji Osamu

전화 : 093-645-7717팩스 : 093-645-7736