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다이렉트 드라이브 구동 방식을 채용한 고정밀・저진동의 신형 반도체 웨이퍼 반송용 클린 로봇 「SEMISTAR-GEKKO MD124D」와 클린 로봇용 표준 컨트롤러 「SR200」을 판매 개시
-반도체 웨이퍼의 생산성 향상 및 낮은 데미지 반송에 공헌-

신제품2020년 5월 28일

주식회사 바카라 사이트(본사:후쿠오카현 기타큐슈시, 대표 이사 사장:오가사와라 히로시)는, 반도체 웨이퍼 반송용 클린 로봇의 새로운 라인업으로서, 당사의AC서보 모터 'Σ-7시리즈」의 다이렉트 드라이브 모터를 채용한 클린 로봇 「SEMISTAR－GEKKO MD124D'을 판매 시작합니다.

이에 따라 종래 기종보다 고정밀도2배)·저진동(종래 기종비1/6) 반도체 웨이퍼 반송을 실현합니다. 아울러 소형·경량화하여 구동 능력과 확장성을 높인 클린 로봇용 표준 컨트롤러SR200도 개발했습니다.SR200은 당사 클린 로봇 전반에 적용하여 클린 로봇의 성능을 극대화합니다.

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1. 제품화의 목표

최근 스마트폰 제품 사양 진화IoT개발에 따른 데이터 센터의 고도화 및 통신 사양의 5G화 등 기술 진화는 눈부시고, 이러한 기술을 지원하는 큰 요소가 반도체입니다. 반도체 기술 혁신은 제조 공정에서nm(나노미터) 수준의 미세화 기술과 다층화 기술로 이루어져 있으며, 이 진화에 기여하는 웨이퍼 반송용 클린 로봇이 요구되고 있습니다.

예를 들면, 지정하는 위치에 고정밀도로 웨이퍼를 운반하고 싶은, 웨이퍼에 스트레스를 가하지 않고 지금까지와 같은 반송 매수를 안전하게 반송하고 싶다, 다수의 웨이퍼를 수납하기 위해서 좁은 피치의 장소에도 웨이퍼를 반송하고 싶다, 등의 요망이 있습니다. 이러한 고객으로부터의 요구에 부응하기 위해, 보다 고정밀도로 저진동인 클린 로봇을 개발했습니다.

2. 주요 특징

기종 기종(SEMISTAR-MR124)에 비해 로봇의 설치·반송 장치 레이아웃의 완전 호환성을 실현(로봇 본체의 형상을 유지), 절대 위치 정밀도(0.05mm＊1) 및 반복 위치 결정 정밀도(±0.025mm＊1)는2배로 향상되었으며 이송 시 핸드 진동(0.25G＊1、1G=9.8m/s2)도 상당히 감소했습니다. 이 성능을 실현하기 위해 로봇 암에 감속기를 필요로하지 않는 당사AC서보 모터 'Σ-7시리즈'의 다이렉트 드라이브(DD) 모터를 탑재한 구동 방식입니다.

함께 판매하는 깨끗한 로봇용 표준 컨트롤러 'SR200"은 당사의 표준 전기 제품인 기계 컨트롤러(MP)를 채용하여 기존 기종비 체적42%, 질량35%감소하면서SEMI규격 등 주요 규격에 적합한 확장성을 갖춘 컨트롤러입니다.

이 제품 설계를 개선하는 것 외에도 애프터 서비스의 품질을 개선하고 있습니다. 예를 들어, 로봇에서 배터리를 제거하고 배터리 교체를 제거했습니다. 또한 고객이 필요한 정보를 얻기 쉬운 궁리를 실시하여 프로세스 분석 및 생산성 개선으로 연결할 수 있습니다. 로봇과 컨트롤러 모두 조달 부품을 재검토하여 생산 계속 등 지속가능성을 의식한 제품입니다.

*1: 당사 측정 조건에 따른 결과의 예

3. 정격·사양

'SEMISTAR-GEKKO MD124D'

항목 사양
적용 웨이퍼 크기 300mm(SEMI 표준 준수)
웨이퍼 파지 방식 패시브 그립(진공 흡착 그립, 엣지 그립도 대응 가능)
표준 엔드 이펙터 길이 345mm
구동축 수 5축
암 유형 단팔
작동 범위 EX축(신축) 1215mm*4
TH축(선회) 330°
Z축(승강) 480mm
H축(회전) 440°
최소 회전 반경 510mm
반복 위치 결정 정확도*2 0.05mm(P-P)
본체 질량 86kg
청결도*3 ISO 클래스 1
MCBF(SEMI F10 준수) 1500만 사이클 이상

*2: JIS B 8432 포즈 반복 정밀도를 준수합니다.

*3: 0.3 m/s의 다운플로우 환경에서 당사 권장 설치 조건에 따라 다릅니다.

*4: 매니퓰레이터 선회 중심 위치 ~ 웨이퍼 중심 위치
　(당사 표준 300mm 대응 엔드 이펙터 사용시)

 

 

'SR200'

항목 사양
외형 치수 425(폭)×300(깊이)×133(높이)mm(돌기부 포함하지 않음)
개략 질량 13 kg 이하
전원 사양 3상 AC200V ~ 240V (+10% ~ -15%) 50/60Hz
단상 AC200V ~ 240V (+10% ~ -15%) 50/60Hz
통신(상위 연결) 이더넷(10BASE-T / 100BASE-TX) 2포트
옵션 보드 지원 2 슬롯
제어 축 수 최대 8축
규격 대응 SEMI S2, S8, F47 규격 준수
UL61010-1 표준 준수
ISO 13849-1, Category 3 (PL=d) 준거 등

4. 주요 용도

반도체 제조 장치 내에서의 웨이퍼 등의 반송

5. 판매 계획

(1) 판매 개시:2020년5월

(2) 판매 가격: 오픈 가격

 

【문의처】

주식회사 바카라 사이트

로봇 사업부 클린 로봇 기술부

코미야지 수리

TEL:093-645-7717FAX:093-645-7736

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