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신제품2004년 11월 30일
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주식회사 바카라 사이트(이사 사장 리시마 야스시)는, 300mm 사이즈의 웨이퍼에 대응해, 복수의 웨이퍼 반송 캐리어간에, 고속 한편 깨끗하게 웨이퍼 이재를 가능하게 하는 신형 웨이퍼 소터를 개발해, 2004년 12월 1일. |
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'신형 웨이퍼 분류기' |
1. 제품화의 목표
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반도체 제조 라인은 수율 향상과 높은 청정 환경 유지를 위해 오염 원인 중 하나인 사람의 참여를 최소화하는 자동화를 추진하고 있습니다. 또한 시스템 LSI를 비롯한 다품종 소량 생산을 효율적으로 수행하기 위해 섬세하고 유연한 공정 관리가 필요합니다. |
2. 주요 특징
| (1) | 웨이퍼 외주 파지로의 이송에 의한 클린 대응 최근에, 웨이퍼 표면은 물론 웨이퍼 뒷면에 대한 먼지 부착도 중요한 문제가 되고 있다. 반송시, 웨이퍼 이면을 흡착 등, 접촉해 파지를 실시하는 것으로 일어나는 쓰레기 전이를 없애기 위해, 웨이퍼 외주만을 3개의 손톱으로 파지하도록 했습니다. 또 소터 내에 있는 프리얼라이너(웨이퍼의 회전 각도를 가지런히 하는 장치)도 웨이퍼 외주 파지 기구로 하는 것으로, 웨이퍼 이재의 전 공정으로 웨이퍼 이면에의 비접촉을 실현하고 있습니다. 그 외에, 장치 내의 클린 로봇이나 주행 기구 등에의 클린 대책의 강화에 의해, 장치 전체에서의 클린도 ISO 클래스 1, PWP 0.01 이하(300mm 웨이퍼 표면 전체에서의 0.15㎛ 이상의 쓰레기의 수)를 실현하고 있습니다. |
| (2) | 산업 최고급 처리 매수 웨이퍼 이송용 클린 로봇에는 쌍팔 타입을 채용해, 웨이퍼의 수납·취출을 한 번에 실시하는 것으로 효율화를 도모하고 있습니다. 또, 그 신축 암은 동작 속도 1466mm/s로 고속입니다. 게다가 클린 로봇의 주행 기구에는, 당사제 리니어 모터를 채용해 주행 속도 1500mm/s의 고속 이동을 실현하고 있습니다. 로봇·리니어 모터 등, 당사의 자랑으로 하는 기술을 구사하는 것으로, 고클린 환경하에서 업계 최고 클래스 300장/h의 웨이퍼 이재 처리 스피드를 양립했습니다. |
| (3) | 다양한 옵션 구성 지원 반도체 제조 라인의 규모와 사양에 따라 다양한 기능과 구성의 웨이퍼 분류기를 제공할 수 있습니다. 탑재하는 LoadPort(웨이퍼 캐리어를 받아, 캐리어의 뚜껑을 여는 장치)는, 2~8 스테이션까지 대응할 수 있어 캐리어 반전 기구의 장비도 가능합니다. 또, 공장내에서 사용되는 복수 메이커의 웨이퍼 캐리어에 대응할 수 있을 뿐만 아니라, 공장에의 웨이퍼 입하, 출하용의 특수 캐리어에도 대응한 것으로, 입하로부터 출하까지의 전 공정으로 자동화가 가능합니다. 또한, 캐리어 ID·웨이퍼 ID의 판독 장치나, 읽은 정보를 호스트 컴퓨터를 포함한 주변기기와 교환하는 풍부한 인터페이스류를 준비하고 있습니다. |
3. 주요 용도
| 반도체 제조 라인 |
4. 판매 계획
| (1) | 판매 시작 2004년 12월 1일 | |
| (2) | 판매 계획 200대/년 | |
| (3) |
판매 가격 2800만엔(2LoadPort 타입:사진 제품)~ |
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또한 본제품은, 12월 1일(수)부터 3일(금)까지 마쿠하리 멧세에서 개최되는 “세미콘 재팬 2004”에 있어서, 당사 출전 부스내에 전시 실연 예정입니다. |
[문중어구 설명]
| *1: PWP(Particle Per Wafer Pass) | ||
| 웨이퍼가 장치의 한 위치에서 이동을 시작하고 그 위치로 돌아오는 1사이클 이동 중에 웨이퍼 표면에 부착되는 쓰레기 수입니다. PWP 0.01 이하란, 동일한 웨이퍼를 장치 내에서 100사이클 동작시켜 1개의 쓰레기가 부착한다고 한다. | ||
| [문의처] |
| 주식회사 바카라 사이트 |
| 로봇식 자동화 사업부 |
| 사업 기획부 과장 보좌 안다카(아타카) 히로유키 |
| Tel.(093)645-7703 |
| Fax.(093)631-8140 |
