새 제품2004년 11월 29일
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바카라 사이트 주식회사(사장: 토시마 코지)는 300mm 크기의 웨이퍼를 취급할 수 있고 이동축 없이 넓은 범위에 걸쳐 반송할 수 있는 반도체 웨이퍼 반송 로봇을 개발했습니다MOTOMAN-RC1000G2004년 12월 1일부터 판매를 시작합니다 |
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「MOTOMAN-RC1000G」 |
1 상용화 목표
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반도체 산업에서는 설계 규칙(반도체 칩의 와이어 간 거리)의 소형화를 통한 높은 청정도 달성 및 생산성 향상을 목표로 웨이퍼 이송 효율을 향상시킬 필요가 있습니다 또 다른 과제는 웨이퍼 크기가 커짐에 따라 제조 장비를 더욱 소형화하는 것입니다 3FOUP*1지원되는 EFEM*2야소타*3, 이 로봇은 제조 장비에서 웨이퍼를 운반하는 데 적합합니다 |
2 주요 기능
| (1) | 매우 깨끗한 환경 호환 다관절 팔 기구를 채용함으로써 팔을 펼쳤을 때 도달 범위(1076mm: 로봇 회전 중심에서 로봇 팔 끝 부분의 손 장착 중심까지)가 대폭 확대되었습니다 이동 메커니즘 없이도 운송이 가능하며, 이는 운송 메커니즘에서 분진 발생의 가장 큰 원인 중 하나입니다 또한, 이동 메커니즘은 전체 로봇을 이동할 때 발생할 수 있는 공기 흐름의 큰 방해를 제거하여 주변 먼지가 웨이퍼에 달라붙을 가능성을 최소화합니다 |
| (2) | 장비의 컴팩트한 설계를 가능하게 하는 작동 영역 다관절 팔 메커니즘으로 팔 전체를 접을 수 있어 회전 자세가 매우 작습니다 암을 펼쳤을 때는 도달 거리가 길고, 접었을 때는 타이트한 회전이 가능한 이동 위치를 갖고 있어 넓은 반송 면적과 작은 이동 범위를 양립합니다 작동 공간 및 메커니즘이 필요하지 않을 뿐만 아니라 장치 내 로봇 간섭 공간을 줄이고 장치 내 레이아웃 유연성을 높이며 전체 장치를 컴팩트하게 설계할 수 있습니다 |
| (3) | 생산성에 기여하는 효율적인 운반 MOTOMAN-RC1000G의 다관절 암 메커니즘 팔은 하나이지만 팔 끝에 두 개의 손을 장착할 수 있으며 각 손은 모터에 연결되어 자체적으로 움직일 수 있습니다 이 두 손을 사용하면 전처리와 후처리를 구분하여 웨이퍼를 운반하고, 처리실에서 웨이퍼를 꺼내고 새로운 웨이퍼를 세팅하는 등의 교환 작업을 원스텝으로 수행하는 등 용도에 유연하게 대응하고 높은 이송 효율을 달성할 수 있습니다 |
3 주요 용도
| 반도체 제조 장비 내부 등 깨끗한 환경에서 웨이퍼를 이송합니다 |
4 판매계획
| (1) | 2004년 12월 1일 판매 시작 | |
| (2) | 판매 계획 1000개/년 | |
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판매가 450만엔 |
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본 제품은 12월 1일(수)부터 3일(금)까지 마쿠하리 멧세에서 개최되는 "SEMICON Japan 2004" 당사 부스에 전시 및 시연될 예정입니다 |
[문장의 단어 설명]
| *1: FOUP(전면 개방형 통합 포드) | ||
| 한 번에 여러 개의 웨이퍼(약 25개 웨이퍼)를 운반하는 웨이퍼 캐리어 | ||
| *2: EFEM(장비 프런트엔드 모듈) | ||
| 반도체 제조 라인에서 공급되는 웨이퍼 캐리어와 반도체 제조 장비 사이에서 웨이퍼를 이송하는 장치 | ||
| *3: 분류기 | ||
| FOUP 내부 또는 사이에서 웨이퍼를 교환하고 웨이퍼의 ID 정보를 읽어 제조 공정에서 웨이퍼 처리 효율성을 향상시키는 장치 | ||
| [연락처 정보] |
| 바카라 온라인 |
| 로봇 자동화 사업부 |
| 사업기획부 대리 야스타카 히로유키 |
| 전화(093)645-7703 |
| 팩스(093)631-8140 |
