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신제품2006년 11월 27일
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주식회사 바카라 사이트(이사 사장 리시마 야스시)는, 검증된 반도체 웨이퍼 반송 시스템의 각 구성 제품을 시리즈화해, 반도체 제조 장치의 반송 시스템에 있어서 고신뢰성과 개발 시간의 대폭 단축(반감)을 가능하게 한 모듈러 시스템『SEMISTAR-M시리즈 공급을 2006년 12월 1일부터 시작합니다. 1. 제품화의 목표 |
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2. 주요 특징 |
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(1) |
풍부한 모듈군(160가지 조합) |
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| 다양한 고객 요구에 대응할 수 있도록 풍부한 모듈군을 라인업하고 있습니다. 시스템을 구성하는 모듈의 하나인 매니퓰레이터(로봇 본체)에서는, 단팔 타입이나 쌍팔 타입 등 4종류. 또, 로봇 자체를 이동시키는 주행축에서는, 그 이동 거리별로 2종류. 다른 시스템을 구성하는 프리얼라이너 등 각 모듈에서도 몇 가지 옵션을 준비하며, 그 조합은 160가지가 됩니다. 향후 고객 요구를 도입하여 각 모듈군의 라인업의 충실(종류·성능)을 실시합니다. |
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(2) |
시스템 개발 시간 단축(전체 주문 제품 개발 비율: 반감) |
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| 모듈 시스템에서는 각 모듈의 선택뿐만 아니라 각 모듈이나 시스템의 동작 패턴 등의 제어 방법에 대해서도 선택할 수 있는 커스터마이즈 기능을 장비하고 있습니다. 이에 따라 고객 요망을 최대한으로 도입하면서 사양 검토와 설계 시간을 대폭 단축할 수 있기 때문에 풀 오더 제품 개발에 비해 반송계 시스템 개발 완료까지의 기간이 반감(당사 대비)됩니다. | ||
| (3) | 전체 시스템을 제어하는 고성능 소형 컨트롤러(용적: 18.4L) | |
| 각 모듈로 구성된 전체 시스템은 고성능 소형 컨트롤러 1개로 제어할 수 있습니다. 사이즈는 W425×H133×D300(용적:18.4L(당사 종래 대비 63%))의 컴팩트 설계로 세로 두고 가로 두는 양쪽에 대응해, 고객의 장치내에의 설치에 대해서도 장소를 차지하지 않고 자유도가 높은 레이아웃이 가능합니다. 전원 전압은 100V계 또는 200V계 중에서 선택할 수 있으며 SEMI 규격에도 준거하고 있습니다. | ||
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3. ■용도 |
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200mm, 300mm 반도체 제조 장치 내의 웨이퍼 이송 작업 |
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4. 판매계획 |
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(1) |
제품 이름SEMISTAR-M시리즈 |
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(2) |
판매 시작 2006년 12월 1일 |
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| (3) | 판매 계획 2006년 하반기 100세트 | |
| (4) | 판매 가격(세금 포함) 334만엔(이하 시스템 구성에 따름) | |
| 1대 컨트롤러(NXC100) 1대 주행축, 얼라이너 없음 |
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*1: 세미콘 재팬 2006 |
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| 첨부:SEMISTAR-M시리즈(모듈 시스템) 구성[ PDF 68KB ] | ||
| [문의처] |
| 주식회사 바카라 사이트 로봇 사업부 |
| 반도체 로봇 사업 총괄 |
| 사업 기획 담당 부장 카와이 문명(카와이 후미아키) |
| Tel. (093)645-8133 |
| Fax. (093)645-7918 |
