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바카라 사이트 업계 최초의 더블 링크식 지주 기구를 채용 제10세대 초대형 액정 유리 기판 반송 로봇을 신발매
- 고속·고정밀도 반송, 전용 부대 설비의 삭감, 조기 시동을 실현 “MOTOMAN-CDL3000D”-

신제품2007년 11월 29일

주식회사 바카라 사이트(이사 사장 리시마 야스시)는, 10세대 사이즈의 초대형 액정 유리 기판 반송을 타겟으로, 업계에서 처음으로 승강축에 더블 링크식 지주를 채용해, 기판의 대형화에 의한 생산 효율 향상에의 대응, 설비 비용 삭감이나 라인 기동 비용·시간의 저감MOTOMAN-CDL3000D」를 개발·제품화했습니다. 2007년 12월 1일부터 판매를 시작합니다.

1. 제품화의 목표

당사는 1997년부터 액정 분야를 대상으로 한 액정 유리 기판 반송 클린 로봇을 시장에 공급해 왔으며, 2007년 10월까지의 누적 출하 대수는 약 12000대가 되어 평판 디스플레이(FPD) 제조 분야의 생산 라인에 적용되고 있습니다.

최근의 박형 TV등에서는, 고화질 풀 하이비젼 대응, 화면의 대형화, 저가격화 등 치열한 시장 경쟁이 행해지고 있어, 이 박형 패널에는 고정밀도, 대형, 저가격과, 상반되는 조건을 클리어할 필요가 있어, 설비 생산성을 포함한 생산 효율의 향상이 요구.
　「MOTOMAN-CDL3000D」는 업계 최초로 승강축에 더블 링크식 지주 기구(승강 스트로크 4000mm)를 채용하여, 10세대라고 불리는 3m각 클래스의 초대형 마더 유리 기판을 고속·고정밀도로 반송하는 것을 실현했습니다. 아울러, 더블 링크식 지주 기구의 플렉시블한 동작 기능을 활용해, 전용 부대 설비의 삭감이나 조기 라인 기동 등에 의한 설비 생산성의 향상을 가능하게 해, 설치로부터 패널 생산까지의 모든 장면에서의 생산 효율 향상에 공헌할 수 있습니다.

향후는, 종래로부터의 수직 다관절 구조 타입, 승강축이 싱글 링크 기구나 직동 기구 방식의 유리 기판 반송 로봇에, 이번의 승강축이 더블 링크식 지주 기구의 「MOTOMAN-CDL3000D」을 더해, 소형 유리 기판으로부터 10세대의 초대형 유리 기판까지, 각각의 특징을 살린 유리 기판 반송 로봇을 시장 공급해, FPD 로봇 사업을 더욱 강화해 나갈 방침입니다.

2. 주요 특징

(1) 10세대 초대형 액정 유리 기판의 고속 반송 실현

【별지 보충 자료-1 참조]

로봇의 상하 승강축은 당사 독자적인 더블 링크식 지주 기구를 채용해, 더블 암으로 가반 질량 100kg/암, 상하 승강 스트로크 4000mm, 전후 신축 스트로크 5200mm의 실현에 의해, 10세대 대응 초대형 액정 유리 기판 2850×305.
더블 링크식 지주 기구에 의한 고강성과 플렉시블한 동작으로 암의 휨이 적고, 또, 유리 기판을 탑재하는 핸드의 비틀림 방향 보정은, 좌우의 링크식 지주에 의한 상·하동의 비틀림 동작으로 레벨 조정이 가능합니다.
이 고강성 기구와 높은 자유도 외에 구동 모터나 감속기를 포함한 전체의 경량화, 동력 전달계의 개선에 의해, 반송 속도는 클래스 최고 속도를 실현해, 택트 타임 37.4초*의 고속 반송을 가능하게 했습니다. 이것은 8세대(2200×2500mm급)와 동등 레벨의 고속 반송에 상당합니다.
초대형 액정 유리 기판의 고속·안정 반송에 의해 액정 패널 생산에 있어서의 생산성의 향상에 공헌합니다.
　　*: 당사 상정 패턴에 따라
유리 동시 교체, 하강 중의 수평 이동, 다른 카세트에의 수납, 수평 이동으로 원점 복귀)

(2) 유리 기판 얼라인먼트용 전용 대차가 불필요하고 심플 설비, 비용 절감

【별지 보충 자료-2 참조]

카세트 내에 있는 유리 기판의 반출, 반입시에 있어서의 유리 기판의 얼라인먼트 보정(X-θ 방향의 위치 어긋남)은, 종래의 로봇에서는, 로봇을 탑재한 X 방향(수평 방향) 이동의 횡행 대차를 필요로 하고, 로봇의 θ 방향(선회) 동작과 횡행 대차에 의한 복합 동작으로 실시하고 있습니다.
「MOTOMAN-CDL3000D」는, 상하 승강축의 좌우의 링크부 지주를 독립으로 움직여, 핸드 위치의 높이를 바꾸지 않고 로봇의 선회 중심 위치를 X방향(옆)으로 이동할 수 있어 로봇의 선회 동작에 의해, 로봇 단체로 유리 기판의 X-θ.
이를 통해 기존의 얼라인먼트용 전용 트롤리가 필요 없으며, 간단한 설비를 구축할 수 있어 설비 비용과 설치 작업 시간을 대폭 절감할 수 있습니다.

(3) 로봇의 현지 조립이 불필요하여 설치 공수 삭감, 라인 기동 기간을 1/2 이하로 단축 가능
로봇 승강축이 좌우 링크 방식이므로, 관절부의 굽힘 동작으로 로봇 전체의 높이를 낮추고, 컴팩트하고 육송 가능한 최소 자세로 할 수 있는 것 외에, 바닥면으로부터 카세트내의 최하단 유리 기판까지의 패스 라인은 1360mm에 대응할 수 있습니다.
수 미터의 높은 직동 승강축을 가지는 로봇은 설치 현장에서의 로봇 본체의 조립 작업이 필요했습니다만, 「MOTOMAN-CDL3000D」는 로봇 조립 후에 육송 치수의 자세를 확보할 수 있으므로, 현지에서의 로봇 조립 작업이 불필요해 설치 작업이 최소한으로 끝났습니다.
공간 절약 및 작업 시간 및 비용을 절감할 수 있어 기존의 1/2 이하로 라인을 조기 시작할 수 있습니다.

3. 주요 용도

액정 패널 제조 분야의 대형 유리 기판의 반송, 카세트나 처리 장치에서의 기판 교체 작업

4. 판매 계획

(1) 판매 개시 2007년 12월 1일
(2) 판매 계획 400대/년
(3) 판매 가격 2247만엔/세트(세금 포함)[로봇 본체, 컨트롤러 포함]

공지:
본 로봇 「MOTOMAN-CDL3000D」는, 2007년 11월 28일부터 12월 1일까지 도쿄 빅 사이트에서 행해지고 있는 「2007 국제 로봇전」의 바카라 사이트 부스에서 전시·실연을 실시하고 있습니다.
또, 2007년 12월 5일부터 12월 7일까지 마쿠하리 멧세에서 개최되는 「세미콘 재팬 2007」의 바카라 사이트 부스에서 전시·실연을 실시합니다.
첨부 사진 "MOTOMAN-CDL3000D"