야스카와 전기 주식회사(본사: 후쿠오카현 기타큐슈시, 대표이사 사장: 오가사와라 히로시)는 다음과 같이 발표했습니다AC서보 모터 "Σ-7시리즈'' 다이렉트 드라이브 모터``세미스타－GEKKO MD124D''은(는) 현재 판매 중입니다

이에 따라 기존 모델보다 높은 정확도가 가능합니다(기존 모델 대비 위치 결정 정확도)2회), 저진동(기존 모델 대비1/6) 반도체 웨이퍼 운송이 실현됩니다 또한, 더 작고 가벼우며 구동능력과 확장성이 향상된 클린바카라용 표준 컨트롤러입니다SR200SR200당사의 모든 클린바카라에 적용되어 클린바카라의 성능을 극대화 시킵니다

최근 스마트폰 제품 사양의 진화IoT36688_36714|5G기술의 발전은 눈부시며, 반도체는 이러한 기술을 뒷받침하는 주요 요소입니다 반도체 기술혁신은 제조과정에 있습니다nm나노미터 수준의 미세화 기술과 다층 기술을 기반으로 하며, 이러한 진화에 기여하는 웨이퍼 이송용 클린 바카라이 필요합니다

예를 들어, 웨이퍼를 지정된 위치까지 고정밀하게 반송하는 것, 이전과 같은 매수의 웨이퍼를 웨이퍼에 스트레스를 주지 않고 안전하게 반송하는 것, 많은 수의 웨이퍼를 수용할 수 있도록 좁은 피치의 공간으로 웨이퍼를 반송하는 것 등의 요구가 있습니다 이러한 고객의 요구에 부응하기 위해 우리는 더 높은 정밀도와 더 낮은 진동을 갖춘 클린 바카라을 개발했습니다

기존 모델(SEMISTAR-MR12437210_37268005mm^＊1) 및 위치 반복성(±0025mm^＊1)는2이송 중 손 진동 2배 개선 (025G^＊1、1G=98m/s²)도 크게 감소했습니다 이 성능을 달성하기 위해 바카라 팔에는 감속기가 필요하지 않습니다AC서보 모터 "Σ-7시리즈” 직접 구동(DD) 모터가 장착된 구동 시스템입니다

"SR200''은 당사의 바카라 전기 장비 기계 컨트롤러입니다(MP) 채택, 기존 모델 대비 부피42%, 질량35%감소SEMI이것은 주요 바카라을 준수하는 확장 가능한 컨트롤러입니다

이러한 제품 디자인을 개선하는 것 외에도 우리는 애프터 서비스 품질도 개선하고 있습니다 예를 들어, 바카라에서 배터리를 제거하여 배터리 교체가 필요하지 않게 되었습니다 또한 고객이 필요한 정보를 보다 쉽게 얻을 수 있는 방법을 고안하여 프로세스를 분석하고 생산성을 향상시키는 데 사용할 수 있습니다 바카라과 컨트롤러 모두 조달 부품을 검토하여 계속 생산하는 등 지속 가능성을 염두에 둔 제품입니다

*1: 측정 조건에 따른 결과의 예

반도체 제조 장비 내 바카라 등 이송

(1) 판매 시작:2020연도5월

(2) 판매가: 공개가

[문의]

야스카와전기(주)

바카라사업부 클린바카라기술부

고미야지 오사무

전화:093-645-7717팩스:093-645-7736