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주식회사 바카라 사이트(이사 사장 나카야마 마사)는 유기 EL 디스플레이^*1제조 장치용으로, 최대 370×550mm의 유리 기판을 고진공 중에서 각종 프로세스 처리 장치간을 고속 반송·이재할 수 있는 승강축 부착의 쌍완 진공 로봇XU-RV1060D6」(가반 질량 20kg/팔)을 개발해, 헤세이 15년 11월 21일부터 판매를 개시합니다.

당사에 있어서의 지금까지의 단완 진공 로봇 시리즈 2기종에, 보다 동작 범위·가반 질량의 확대, 쌍완형에 의한 반송·이재 능력 향상을 도모한 쌍완 진공 로봇 신기종을 개발해, 추가했습니다. 이것에 의해 유기 EL 유리 기판의 대형화, 제조 시스템인 대형 클러스터 툴^*2에 대응, 반송·이재 처리 능력 향상에 의한 생산성 업을 가능하게 했습니다. 이번 쌍완 진공 로봇의 시장 투입에 의해 제품 경쟁력의 강화를 도모해, 유기 EL 분야에서의 판매 대수의 증가에 의한 쉐어 업을 목표로 합니다.

액정·PDP(플라즈마 디스플레이)에 이어 차세대 디스플레이로서 유기 EL 디스플레이가 주목을 받고 있어, 양산화와 함께 대형화가 진행되고 있다. 유기 EL 디스플레이 제조 장치에 사용되는 유리 기판 반송 진공 로봇은 유리 기판의 대형화에 따라 높은 진공역에서 큰 사이즈·질량(고가반질량)의 유리 기판이나 유기 EL 완성 기판을 넓은 범위로 반송할 수 있어, 게다가 대기 분위기로부터 격리한 진공역의 클러스터 툴로 불리는 제조 시스템 내의 각 처리실간의 고속 반송·이재가 요구되고 있습니다.

당사에서는, 이러한 요망에 부응하기 위해, 유기 EL 디스플레이 제조 장치용으로, 고진공 중에서 최대 370×550mm 사이즈의 대형 유리 기판을 반송할 수 있는 가반 질량 20kg/팔의 쌍완 진공 로봇 「XU-RV1060D6'을 개발했습니다.
대형 클러스터 툴 등으로, 1대의 쌍완 진공 로봇으로 대형 유리 기판의 반입으로부터 각 처리실간의 반송·이재, 유기 EL 완성 기판의 반출까지의 연속 일괄 처리, 쌍완 동작으로의 고속 반송·이재에 의한 고스루풋화, 생산성의 향상을 가능하게 했습니다.

(1) 고진공 중에서 선회·신축·승강의 3축 동작이 가능한 쌍완 타입에 의해 고스루풋을 실현
클러스터 툴 등의 유기 EL 제조 시스템에서는, 카세트나 각 처리실간에 대해 유리 기판이나 완성 기판을 반송·이재하려면, 진공중에서 암(팔)부의 선회, 신축 동작 외에 승강 동작이 필요합니다.
가동부의 진공과 대기의 씰에서는, 회전부에는 슬라이딩 마찰 손실이 적고 고진공 영역까지의 씰 성능을 가지는 자성 유체 씰을 적용해, 승강부는 금속 벨로우즈를 채용한 것에 의해 고진공중(1×10-6Pa(파스칼))에서의 선회·신축·승강
또한, 고진공 대응에 더해, 더블 암 방식의 쌍완 타입의 채용에 의해 유리 기판, 완성 기판 등을, 카세트나 각 처리실간에서 효율적으로 고속 반송·이재할 수 있으므로, 스루풋의 향상을 도모해, 생산성의 향상에 기여할 수 있습니다.
(2) 고가반 질량과 넓은 동작 범위, 최대 370×550mm의 대형 유리 반송이 가능
유리 기판의 크기가 커짐에 따라 제조 장치의 처리실도 커지고, 필연적으로 유리 기판을 운반하는 진공 로봇도 가반 질량의 증가와 넓은 작동 범위가 필요합니다.
고가반 질량에는, 암의 신축 기구에 평행 링크 기구의 채용, 구조 해석에 의한 암 형상의 최적화에 의해, 암부의 고강성화, 신축시의 횡요동의 억제, 저진동화를 도모해, 가반 질량 20kg/암을 실현했습니다. 아울러 암을 가장 늘렸을 때 최대 리치 1050mm, 암의 신축 스트로크 1700mm, 상하(승강) 스트로크 100mm, 선회 각도 330°의 넓은 동작 범위를 달성할 수 있어 고진공 중 최대 370×550mm의 대형 유리 기판, 완성 기판의 반송을 가능하게 했습니다.
(3) 암부의 높은 진공 성능으로 신뢰성 향상 및 유리 기판 유무 검출 센서의 설치가 가능
높은 진공 환경에 설치되는 로봇은 로봇 자체에서 방출되는 발가스의 양과 그 성분이 문제가 되고 공정에 악영향을 미치는 발가스를 억제해야 합니다.
암 구동을 위한 고무 계통의 전달 벨트 등이나 수지 제품은, 발가스량이나 성분의 면으로부터 최대한 피할 필요가 있습니다. 본제품은 평행 링크 기구에 의한 전달 방식을 채용해, 이 발가스의 영향을 억제하고 있으므로, 신뢰성이 한층 향상하고 있습니다.
또한, 로봇 암 내에 센서용 배선을 통과시킬 수 있는 구조로 되어 있으므로, 암 선단의 유리 기판 핸드부에 기판의 유무를 검출하는 센서를 장착할 수 있습니다.

· 유기 EL 디스플레이 제조 장치의 고진공 중 대형 유기 EL 유리 기판 및 그 완성 기판의 반송 · 이송
·액정 유리 기판이나 반도체 웨이퍼의 반송·이재에도 적용 가능

　(1) 판매 개시 2005년 11월 21일
(2) 판매 계획 100대/년
(3) 판매 가격 1440만엔(컨트롤러 포함)
또한, 오는 11월 19일(수)~22일(토)에 도쿄 빅 사이트에서 개최되는 “2003 국제 로봇전”에 있어서,
「XU-RV1060D6」를 유리 기판 반송으로 실연, 전시합니다.

[문중 용어 설명]
*1 유기 EL(Electro Luminescence)
전압을 가하면 형광을 발하는 물질을 이용하여 이 유기 박막에 전류를 흘려 전자의 결합 에너지를 광에너지로 변환함으로써 발광하는 자발광형 디바이스입니다.
유기 EL에 의한 디스플레이로서 휘도가 높고, 화질이 우수하고, 박형화가 가능하며, 응답 속도가 현격히 빠르고, 동영상의 묘사가 뛰어납니다. 휴대전화용이나 중·소형 TV나 모니터, PC용으로의 이용이 전망되어, 차세대 디스플레이로서 최근 급피치로 실용화, 양산화, 대형화가 진행되고 있습니다.
*2 클러스터 툴(Cluster Tool)
주위의 대기 분위기로부터 격리된 진공 환경의 제조 시스템으로, 이 제조 시스템은 서로 기계적으로 결합된 프로세스(처리 장치), 반송 및 카세트 모듈 등으로 구성됩니다.
유기 EL 디스플레이 제조 시스템의 클러스터 툴에서는 유리 기판의 반입으로부터 성막이나 검사, 밀봉 공정 등이 모두 진공 중에서 처리되어 유기 EL 완성 기판으로서 반출됩니다. 이 클러스터 툴 내에서의 각 처리실간의 반송·이재 등을 진공 로봇 등으로 실시합니다.

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