Yaskawa Electric Co, Ltd (Toshima Koji 사장 겸 CEO)는 300mm 크기의 라이브 바카라를 처리 할 수 있고 이동 샤프트없이 넓은 범위를 운반 할 수있는 반도체 라이브 바카라 운송 로봇입니다Motoman-RC1000G| 2004 년 12 월 1 일에 개발 될 예정입니다

"Motoman-RC1000G"

반도체 산업에서는 디자인 규칙 (반도체 칩의 배선 사이의 거리)과 생산성 향상을 목표로 라이브 바카라 운송 효율을 향상시켜야합니다 또한, 라이브 바카라 크기의 확장은 제조 장비를 컴팩트하게 만드는 데 어려움을 겪었으며, 이는 더 커지고 있습니다
　
ourMotoman-RC1000G다중 관절 암 메커니즘을 사용하여 광범위한 움직임과 작은 중추적 자세를 달성 할 수 있습니다 이를 통해 운송 시스템에서 먼지 생성의 주요 원인 인 구동 메커니즘이 가능하며 넓은 공간이 필요하므로 제조 장비를 매우 깨끗하고 컴팩트하게 만들 수 있습니다 또한, 두 손 (라이브 바카라를 보유하는 메커니즘)을 팔 끝에 장착 할 수있어 라이브 바카라 처리 전후의 손 사용 및 라이브 바카라 교환 작업과 같은 전송 패턴과 같은 더 나은 전송 효율이 가능합니다

3foup^*1호환 EFEM^*2Yasterter^*3, 제조 장비 내에서 라이브 바카라를 운송하기에 적합한 로봇

이 제품은 Semicon Japan 2004에서 전시 될 예정이며, 12 월 1 일 수요일부터 12 월 3 일 금요일부터 전시 부스에서 Makuhari Messe에서 개최됩니다