바카라 못이기는 이유 새로운 정보

주식회사 바카라 사이트(이사 사장 리시마 야스시)는, 반도체 장치용으로 나노(10억분의 1)미터 레벨의 초정밀 위치 결정과, 매끄럽고 정확한 이동을 가능하게 하는 초정밀 XY에어 스테이지를 개발해, 2005년 3월 21일부터 판매를 개시.

'초정밀 XY 에어 스테이지'

반도체 산업에서는 설계 규칙(반도체 칩의 배선 사이의 거리)의 미세화로 인해 제조 장치 내에 탑재된 위치 결정 장치에 대한 고정밀도가 요구되고 있다. 이 고정밀도화는 정지 위치 정밀도뿐만 아니라 이동 중의 안정된 속도·궤적 정밀도 확보에 있어서도 요구되고 있습니다.

우리의 초정밀 XY 에어 스테이지는, 메카계에 에어 베어링을 채용해, 비접촉의 스테이지 기구로 하는 것으로 클린 대응력의 대폭적인 향상이나 메인터넌스 프리를 실현하고 있습니다. 또한 에어 베어링 내의 에어층을 균일하게 유지하도록 고안한 것, 구동계에 당사의 특기로 하는 리니어 모터 기술을 구사한 결과, 매끄러운 주행과 안정된 직진성을 실현, 또한 위치 검출기를 스테이지측에 배치함으로써 구동계에서 스테이지까지의 메카적인 오차를 배제하여 높은 위치 재현성을 가능하게 하고 있습니다.
안정된 주행 성능을 요구하는 광학계의 검사 장치나, 높은 위치 결정 정밀도를 요구되는 노광 장치 등에 적합한 스테이지가 되고 있습니다.