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주식회사 바카라 사이트(이사 사장 나카야마 眞)는 짧은 가동 범위를 고속·고정밀도로 구동하는 박형 리니어 슬라이더Σ－Trac－μ시리즈」를 개발해, 헤세이 16년 1월 21일부터 판매를 개시합니다.

당사에서는 고성능 리니어 서보 모터로서 표준 리니어 모터 「Linear Σ」시리즈를 제품화해, 반도체 제조 장치, 전자 부품 실장기, 액정 시장 등의 고정밀 위치 결정 용도에 리니어 슬라이더^*1「Σ-Trac 시리즈」을 제품화하여 업계 최고 생산량을 실현해 왔습니다.
근래 전자 부품의 소형화나 미세 가공 장치에의 적용 등에 수반해, 기구 부분의 소형화 및 고정밀도화가 요구되어 고객이 리니어 모터와 가이드를 따로따로 구입해 조합했을 경우에는 최적의 치수, 정밀도를 실현할 수 없는 등의 문제가 나오고 있습니다.
이번, 이러한 고객 기계장치의 한층 소형화, 고정밀도화 등의 요구를 실현하기 위해서, 영구 자석 가동 구조 타입의 리니어 서보 모터를 사용한 박형 리니어 슬라이더 「Σ－Trac－μ(마이크로)'를 개발하고 'Σ-Trac 시리즈'에 추가했습니다. "Σ－Trac－μ시리즈」은, 리니어 모터 단체가 아닌 리니어 슬라이더로서의 최적 설계를 실시하고 있기 때문에, 종래 장치의 혁신적인 소형화나, 종래의 기구에서는 장착할 수 없었던 소형 기계에의 적용 등을 실현할 수 있습니다.
　「Σ－Trac－μ시리즈」의 제품화에 의해 반도체 제조 장치, 전자 부품 실장기, 액정 시장 등에 가세해 의료, 바이오 관련 분야 등 기계 장치의 한층 소형화, 고정밀도의 요구가 높은 고객에게 리니어 솔루션의 제공에 노력해 가겠습니다.

최근 액정 시장의 세대 혁신에 따라 제조 장치에 사용되는 대형, 대추력, 긴 스트로크의 리니어 서보 모터 시장이 급속히 확대되고 있습니다. 당사에서는 표준 리니어 서보 모터 「Linear Σ 시리즈' 및 용도 전용 리니어 슬라이더 'Σ-Trac 시리즈'을 제품화하고 호평을 받고 있습니다.
한편, 반도체 장치에 있어서는 소자 집적도의 향상에 의한 미세 모션 제어의 요구에 따라 소형, 고속 및 고정밀 모션을 실현할 수 있는 고성능 리니어 슬라이더의 요구가 강해지고 있습니다. 그래서, 이하의 2개의 포인트에 중점을 둔 얇은 리니어 슬라이더 「Σ-Trac-μ(마이크로)'를 개발했습니다.

　1) 영구자석 가동구조에 의한 리니어 서보모터의 박형화, 고속화.
2) 고해상도 리니어 스케일 시스템, 리니어 가이드와 최적의 설계로 결합 고객에게
　　 납품함으로써 소형화, 고정밀화 및 플러그 앤 플레이 실현.

이 얇은 선형 슬라이더와 다양한 분야에서 축적된 제어 노하우를 통합한 고성능 서보 드라이브Σ-II 시리즈' 또는 'Σ-III 시리즈」을 결합하여 고객의 기계장치의 소형화, 고속화, 고정밀화에 크게 기여해 나갈 것입니다.

(1) 기기의 소형화 실현(당사 체적비 약 1/3)
볼 나사 구동 시스템의 경우 볼 나사 장치의 한쪽 끝에 AC 서보 모터가 결합된 구조가 되어 구동 장치의 전체 길이가 매우 길어집니다. 또한 모터 높이에 따라 장치의 높이가 결정됩니다.
한편, 리니어 구동 장치의 경우, 이동 테이블 자체를 구동시키기 위해 최소한의 치수로 구성할 수 있으며(첨부 도면 참조), 지금까지의 장치를 혁신적으로 소형화할 수 있습니다. 「Σ－Trac－μ시리즈」는 리니어 모터 단체로 설계가 아닌 리니어 슬라이더로서 최적 설계를 하고 있기 때문에 (첨부 도면)과 같이 X-Y 테이블에 짜는 경우 등 장치의 콤팩트화, 소형화에 크게 공헌할 수 있습니다. (당사 30W 회전형 모터로 구성한 경우의 약 1/3의 체적)
(2) 영구 자석 가동 구조에 의한 기계의 단순화
일반적인 리니어 모터는 영구 자석측이 고정, 코일측이 구동하는 코일 가동 구조이기 때문에, 구동하는 코일에 모터의 동력선이 접속되어, 이 동력선 경사에 케이블 베어 등의 스페이스와 배선이 필요하게 되어, 기계 설계의 큰 제약이 되고 있었습니다.
이번에 개발한 「Σ-Trac-μ시리즈」는 영구자석측이 구동, 코일측이 고정하는 영구자석 가동구조로 함으로써 모터의 동력선을 고정할 수 있기 때문에 동력선 절삭의 문제가 없어져 기기 설계가 매우 단순해집니다.
(3) 0.5μm의 고정밀 반복 위치결정 정밀도 실현
종래의 볼 나사 구동 시스템에서는, 전달 기구부의 덜거덕거림, 저강성의 영향에 의해 2~5㎛의 정밀도가 가득하고, 서브 미크론의 위치 결정 정밀도를 실현하는 것은 매우 곤란해지고 있습니다.
이번에 개발한 「Σ-Trac-μ시리즈」에서는 리니어 모터에 의한 직접 구동에 의해 기구부의 흔들림이 없는 일과, 독자적인 고분해능 엔코더 시스템을 채용한 것으로 최소 분해능 0.078μm(78나노미터)와 당사 고성능 서보 드라이브와의 조합에 의해 0.5μm 이하의 서브.
이 0.5μm의 위치 결정 정밀도는 광학계의 테이블 위치 결정에 적합하며, 종래의 용도 외에 검사 장치, 의료 기기 분야에의 응용이 기대됩니다.

반도체 제조 장치, 전자 부품 실장기, 액정 제조 장치 이외에 검사 장치, 의료 기기 관계의 광학계 구동용 등.

(1) 판매 개시 2004년 1월 21일
(2) 판매 계획 2003년도:300대/년, 2004년도:1000대/년
(3) 판매 가격 SGTMM03-065AH20-＊＋SGDS-01A05A 48만엔/세트
SGTMM03-025AH20-＊＋SGDS-01A05A 46만엔/세트

[문중어구 설명]

*1 선형 슬라이더:
리니어 슬라이더는 동력원인 리니어 서보 모터, 위치 정보를 검출하는 리니어 스케일, 리니어 기계계를 이동시키는 리니어 가이드로 구성됩니다. 리니어 모터 단독으로 고객에게 제공하는 경우, 리니어 스케일 및 리니어 가이드를 고객이 준비하고 조합하기 위해 기계 설계를 실시해야 합니다. 그에 비해 리니어 슬라이더의 형태로 고객에게 제공하는 경우에는, 그대로 고객의 기계에 장착할 수 있으므로, 고객의 기계 설계, 조달, 조립 등의 리드 타임을 대폭 삭감할 수 있습니다.

첨부 도면

참고자료 'Σ－Trac－μ제품 개요'

[문의처]
주식회사 바카라 사이트
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사업 추진 과장 스즈키 장양
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