2021년 9월 30일
반도체 웨이퍼 이송 로봇은 반도체 제조 장비 내에서 웨이퍼 등을 이송하는 데 사용됩니다
웨이퍼를 지정된 위치로 운송하고 싶다는 것, 웨이퍼에 스트레스를 주지 않고 동일한 수량의 웨이퍼를 안전하게 운송하고 싶다는 것, 이전과 같은 공간에 많은 수의 웨이퍼를 보관하고 싶다는 요구가 있습니다 이러한 요구를 충족시키기 위해 우리는 진동이 적고 정밀도가 높은 운송 로봇을 개발하고 있습니다
기존의 웨이퍼 이송 로봇은 기어를 사용하는 구조로 되어 있으며, 이송 중 기어에 의해 발생하는 진동으로 인해 웨이퍼를 잡는 손이 진동하게 됩니다 웨이퍼는 진동으로 인해 운송 중 미끄러지기 때문에 기계적 그립이 필요하며 이로 인해 웨이퍼가 손상되고 파티클이 발생할 수 있습니다 또한, 기어에 의한 백래시, 히스테리시스 등도 반송 정밀도를 저하시키는 요인이었습니다
이러한 상황에서 우리는 반도체 웨이퍼 이송을 위한 클린 로봇을 개발했습니다SEMISTAR-GEKKO MD124D(아래)MD124D)이 상용화되었습니다 저진동으로 보다 정확한 반송을 요구하는 요구에 부응하여 당사 모터의 특성을 최대한 활용하고 원활하고 고정밀도 반송이 가능한 웨이퍼 반송 로봇을 개발했습니다
MD124D는 팔 부분에 있습니다, 저희 회사AC서보 모터 "Σ-7시리즈" 직접 구동 모터(아래DD모터)가 장착되어 있습니다 기어를 제거하고 모터가 암을 직접 구동하도록 함으로써 암에서 엔드 이펙터까지의 진동이 크게 감소되었습니다(쥐는 손의 진동)101/1 미만(기존 모델 대비))
진동을 줄임으로써 운송 중 진동으로 인한 웨이퍼 미끄러짐을 억제할 수 있습니다 웨이퍼 손상 없는 이송이 가능합니다
웨이퍼 그립 방법에 패시브 그립을 사용하여 웨이퍼 손상과 파티클 발생을 줄이는 이송을 실현합니다 이전 모델은 Edge Grip 또는 Vacuum Grip을 사용했습니다 엣지그립은 웨이퍼를 파지할 때 충격으로 인해 파티클이 발생하고 웨이퍼가 손상되는 방식이다 또한, 진공그립은 흡착으로 인한 웨이퍼의 뒤틀림, 흡착흔적 등의 문제가 있었습니다
패시브 그립은 단순히 웨이퍼를 패드 위에 놓기 때문에 충격이나 왜곡이 없습니다 하지만 패시브 그립을 채택하기 위해서는 웨이퍼를 고속으로 이송하면서도 진동을 줄여 웨이퍼가 미끄러지거나 떨어지는 것을 방지할 수 있는 바카라 하는 법 개발이 필수적이었다
MD124D는 기어리스 DD 모터로 암을 직접 구동하여 저진동을 실현합니다 또한 기어를 제거하여 백래시, 히스테리시스를 제거하고 반송 정도를 향상시켰습니다 동시에, 감속기유 등 화학적 오염에 취약한 부품을 제거하여 리스크를 줄여 고객의 우려를 해소하였습니다
단순히 엔드 이펙터를 목표 위치로 고속으로 이동시키면 웨이퍼가 미끄러지거나 떨어질 수 있습니다 이를 방지하기 위해 웨이퍼에 적용되는 가속/감속을 일정하게 유지하는 제어 기능을 포함시켰습니다 모든 팔 자세에서 웨이퍼에 적용되는 가속/감속05G(1G=98m/s2) 이하입니다 효율적인 제어로 장비 처리량을 극대화합니다
또한DD모터 드라이브를 사용하여 위치 정확도의 반복성은 기존 모델보다 2배 이상 증가하고 절대 위치 정확도는 기존 모델의 2배이며 세로 진동 및 진폭이 감소합니다1/2미만, 전달 정확도40μm 달성
로봇 바카라 하는 법과 제어 바카라 하는 법을 결합하여 진동이 적고 정밀도가 높은 운송 로봇을 만들었습니다
모터 위치 정보를 유지하는 배터리 교체는 로봇 유지 관리의 문제입니다 반도체 제조라인에 사용되는 거의 모든 웨이퍼 이송 로봇은24시간365우리는 매일 최대 용량으로 가동하고 있으며 단지 배터리를 교체하기 위해 생산을 중단할 수는 없습니다 MD124D는 배터리가 없기 때문에 교체의 번거로움과 예비 부품 비용이 줄어듭니다
MD124D는 기어리스로 저진동과 고정밀도를 양립하고, 반도체 제조 공정에 기여할 수 있는 저손상 반송을 실현합니다 또한, 배터리가 없어 유지관리도 개선됐다 이런 것들이 평가되었고,63제10회 신제품상※(본상)''
※상위 10대 신제품상은 무엇입니까?
닛칸공업신문 주식회사 후원
해당 연도에 개발되거나 실용화된 신제품이 수상 자격이 있으며 제조업 발전에 도움이 되고 일본의 국제 경쟁력을 강화할 제품이 선정되어 시상됩니다
반도체 산업은 지금까지 변해왔습니다PC또는 스마트폰/태블릿 등으로 인한 통신 필요5G자동차의EV자율주행 및 각종 제품IoT우리는 데이터 센터의 규모와 크기를 늘리는 등 계속해서 확장해 나갈 것입니다 이러한 반도체 산업의 수요에 부응하여 반도체 로봇 시장은 대기 및 진공 환경에서의 웨이퍼 이송뿐만 아니라 반도체 패키징 등의 분야로도 확대될 것으로 예상됩니다
저희 반도체 로봇은 Yaskawa Electric의 모션 로봇 바카라 하는 법을 최대한 활용하여 판매, 제품 능력 및 생산 능력을 향상시켜 고객의 문제를 지속적으로 해결하는 솔루션을 제공합니다3우리는 이를 제공하기 위해 우리의 강점을 결합할 것입니다
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